赛默飞CID检测器的读数方法介绍

　　赛默飞CID检测器是一种电荷注入器件，其基本结构与CCD相似，也是一种MOS结构，当栅极上加上电压时，表面形成少数载流子(电子)的势阱，入射光子在势阱邻近被吸收时，产生的电子被收集在势阱里，其积分过程与CCD一样。

　　赛默飞CID检测器是为了适应全谱直读电感耦合等离子体光谱仪的二维分光色散系统而推出的平面检测器，统称为电荷转移检测器。CID是一种具有电容特性的检测器，相对来说对红外敏感，因此需要镀膜将紫外光转换为红端的光;由于灵敏度差、读数噪声大，CID采用一种叫非破坏性读数的方式不断累积电荷提高灵敏度，同时从统计学意义上赛默飞CID检测器可以降低读数噪声。

　　一个单独的赛默飞CID检测器检测单元包括两个导电性的电极和引线，做在一个很薄的硅氧化物或氮化物绝缘层上，即横向电极和纵向电极，在横向电极上有一个读数放大器，两个电极之间加以偏压，开始积分时，先在row上加以很小的正电压，而在column上加以很小的负电压，光照在检测器表面上时，产生的正电荷向column电极上聚集，当读数时，将row上的负电压去掉，同时将column上的电压转为小的正电压，电荷从column上转移到row上，即可读出在row上聚集的电荷所产生的电压，此为一次读数。又经过一段积分后，将column上加以负电压，row上加以正电压，此时电荷从row电极下转移到column电极下，此时又可读出row电极上的电压变化，即二次读数，然后再在row上加以负电压，column上加以正电压，使电荷再转移回到row电极下，并重复一次读数的过程，当全部积分结束，进行一次读数时，在两个电极上同时加以正电压，使电荷注入CID基体，此时读出row电极上电压的变化即为赛默飞CID检测器读数的结果。