赛默飞ICP光谱仪分析过程主要分三步，即激发、分光和检测。

　　一、激发光源使试样蒸发汽化，离解或分解为原子状态，原子也可能进一步电离成离子状态。原子及离子在光源中激发发光；

　　二、利用分光器把光源发射的光色散为按波长排列的光谱；

　　三、利用光电器件检测光谱，按所测得的光谱波长对试样进行定性分析，或按发射光强度进行定量分析。

　　赛默飞ICP光谱仪的维修保养要求：

　　1.仪器要有良好的使用环境。环境温湿度变化过大仪器各部件容易受潮或者损坏，所以室内湿度应控制在要求范围之间，并配备空气净化装置。

　　2.使用中尽量减少开停机的次数，仪器频繁开启容易造成损坏，使用中需要倍加注意。

　　3.雾化器是进样系统中精密及关键的部分，需要很好的维护使用及定期清理，否则可能导致测定强度下降，仪器反射功率升高等。

　　4.当实验室内需要采用排风机排除仪器的热量及工作时产生的气体时，室外含有大量灰尘的空气流入室内，积聚在仪器的各个部位上，容易造成高压组件或接头打火，电路板及接线、插座等短路漏电等故障，因此需要经常进行除尘。